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聚酰亚胺薄膜气相沉积的研究进展

晁敏 , 寇开昌 , 吴广磊 , 赵春玲 , 王志超

材料导报

综述了气相沉积聚合设备、制备过程、影响因素、性能表征方法及近年来国内外的研究现状.气相沉积聚合聚酰亚胺薄膜相比于传统湿法成型具有纯度高、无溶剂、膜厚可控、致密均匀、可在复杂表面成型等优点.展望了气相沉积的应用以及今后的发展前景.

关键词: 气相沉积聚合 , 聚酰亚胺薄膜 , 影响因素 , 性能表征 , 研究现状 , 应用